Siフォトニクスの実現に前進、量子ドットを利用したSiベースLEDを製作
5月.25, 2010
東京都市大学 総合研究所 シリコンナノ科学研究センターは,ゲルマニウム(Ge)の量子ドットを利用したSiの発光素子を作製し、室温の中、電流励起での発光を確認したと発表した。この量子ドットは,MBE(分子線エピタキシー)法で約400℃で形成するため、素子の製造プロセスはCMOSプロセスと互換性がある。また、レーザ発振の可能性もあることから、Siフォトニクスの実現に一歩近づいたとする。
詳しくはTech-On,”東京都市大,Ge量子ドットを埋め込んだSiベースのLEDを作製”を参照して下さい。
【追加参考文献 5/26 】マイコミジャーナル
Tags: Siフォトニクス


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